Inline Magnetron Sputtering sistēma
Iebūvētā magnetrona izsmidzināšanas pārklāšanas iekārta galvenokārt ir līdzstrāvas (vai MF) magnetrona izsmidzināšanas pārklājums, ko var pielāgot dažādiem mērķiem, piemēram: varš, titāns, hroms, nerūsējošais tērauds, niķelis un citi metāla materiāli, kurus var pārklāt, izmantojot izsmidzināšanas procesu. var uzlabot plēves adhēziju, reproducējamību, blīvumu, viendabīgumu un citas īpašības.
- a.Pamatīpašības un parametri
- b.horizontālas līnijas struktūru var realizēt vienlaikus pārklājot no vienas puses
- c.ražošanas efektivitāte, ātrākais ātrums līdz 1 min / sitiens
- d.modulāra konstrukcija, vienkārša apkope
- e.apšuvuma procesa briedums, augsta raža
- f.Līdzstrāvas magnetrona izsmidzināšanas katodi var atšķirties atkarībā no klienta prasībām
- g.vakuuma sistēma sastāv no mehāniskā sūkņa, Roots sūkņiem, difūzijas sūkņiem (molekulārais sūknis) Sastāvs
- h.Līnijas korpusa izmērs var atšķirties atkarībā no klienta prasībām
- 1) Vakuuma kameras korpusa materiāli izmantoja SUS304, pulējot vakuuma kameras sienu apstrādi, ārējās sienas smidzināšanas pulēšanas lodītes.
- 2) Izmantojot neatkarīgu aizbīdņu vārstu starp vakuuma kameru - atloka vārstu atsevišķi, var efektīvi nogriezt, stabilizēt procesa gāzi.Pašlaik mūsu uzņēmums izmanto atloka vārsta konstrukciju, tas ir labāk blīvēts, izturīgāks nekā pašreizējais iekšzemes kopīgs vārsts.
- 3) Transmisija izmanto magnētisko vadotni, aizsargā piedziņas stabilitāti.Katram visas ražošanas līnijas ātrumam, izmantojot VVVF motora piedziņu, var regulēt darbības ātrumu.
- 4) Elektriskā vadības sistēma: skārienekrāna un PLC automātiskā vadība, cilvēka un mašīnas dialogs, lai sasniegtu datu displeja sistēmu, darbības parametri un vadības tehnoloģija
- 1) Maksimālais vakuuma spiediens: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) vidējais ražošanas cikls: atbilstoši noteiktajam produktam
- 3) Substrāta turētāja izmērs: var pielāgot atbilstoši prasībām
- 4) Filmas viendabīgums: ± 3% uzlabotā mobilā lauka tehnoloģija ir ievērojami uzlabojusi mērķa izmantošanu
- Segmentēta sildītāja konstrukcija veicina procesa optimizāciju.
Uzrakstiet savu ziņu šeit un nosūtiet to mums
