Vakuuma magnetrona izsmidzināšanas tehnika ir sievietes, bipolārā elektroda virsmas izmantošana ar elektrona magnētisko lauku katoda virsmas dreifē, iestatot mērķa virsmas elektrisko lauku perpendikulāri magnētiskajam laukam, elektrons palielina gājienu, palielina jonizācijas ātrumu. no gāzes, savukārt augstas enerģijas daļiņas gāzē un zaudē enerģiju pēc sadursmes un tādējādi pazemina substrāta temperatūru, pilnībā pārklājot materiālu, kas nav izturīgs pret temperatūru.